半導體生產車間91看片网站视频係統設計

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　　半導體生產車間91看片网站视频係統設計1．引言隨著科技的進步和產品技術的不斷提升以及中國對外開放的深入，大批的外資企業在中國設立其製造基地，特別是近年來半導體行業的大舉進入，其全新的生產工藝及生產過程中對環境溫、濕度、潔淨度的較高要求，需要在线看片网址提供一個比較有效且比較低能耗的空調係統，特別需要有低濕度的空調環境保證。目前，空氣91看片网站视频主要有四種方式，通風91看片网站视频、冷卻91看片网站视频、液體吸濕劑91看片网站视频和固體吸附劑91看片网站视频。在空調91看片网站视频係統中，冷卻91看片网站视频和固體吸附劑91看片网站视频是主要手段。冷卻91看片网站视频在環境對濕度要求不是很高（RH≯60～65％）的條件下，效果還是比較好，性能穩定且能耗也比較低，目前應用比較廣泛。但在生產環境對濕度要求較高（RH=45±5％）的地方，采用冷卻91看片网站视频就明顯是不經濟的。采用轉輪91看片网站视频機，將不受空氣露點影響，且91看片网站视频量大，特別適用於低濕條件下，但如果全部91看片网站视频僅采用固態吸附原理的轉輪91看片网站视频機進行，由於其再生耗能量也比較大，此種看片网站入口也不是最經濟的。由於轉輪91看片网站视频和冷卻91看片网站视频各有所長，將其優化組合，各取所長，互補所短，會更好的發揮其效能。2．濕度在半導體行業中的要求半導體的生產工廠要在全年四季的氣候條件下，生產車間內部要求維持穩定的環境，特別是對於生產環境的溫度、濕度、空氣潔淨度、氣流組織，壓力平衡等多個空調參數都提出了嚴格的要求。有別於其他的恒溫恒濕環境係統的要求，由於電子產品對靜電的敏感性和高濕度環境對其品質的影響，其對濕度的精度提出了嚴格要求，對於空調係統的配置，則要求係統同時具備夏季91看片网站视频的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導體生產行業的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%；而對於這個溫濕度要求，傳統上經常采用冷凍91看片网站视频+後加熱（再熱）方式進行處理，並取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費，特別是由於半導體行業的大新風，大排風係統、生產環境為大空間潔淨環境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區的特殊情況，使得這個問題十分突出。因此，在最新的許多半導體廠房的空調係統開始使用新風通過新風機組（冷卻91看片网站视频）和轉輪91看片网站视频機聯合處理濕度、溫度而後通過後空調機組處理的組合方式，達到室內送風溫、濕度要求，並取得了顯著收益。3．工程實例一、設計條件及要求：a、室內要求：T=22±2℃；RH=50±5%；TL=11.5℃；d=8g/kg；b、潔淨級別：10K（級）；c、體積：S=2000m2；H=2.8m；d、工作人員：30名，車間無工藝濕負荷；e、新風量：9500m3/h；f、送風量：m3/h，正壓5~10PA；g、室外環境條件：T=35℃；RH=70%；d=25g/kg；二、空調係統設計看片网站入口及優缺點：a、看片网站入口A：新風機組（MAHU）+組合式空氣處理機組（AHU），其空氣處理過程如下：新風過濾經表冷處理後與房間回風混合，再經表冷器處理到機器露點（TL=12℃）後再加熱至送風溫度（T=18.5℃）後，統一送風到車間。分析如下：由於車間內部的露點溫度為11.5℃，並且設計條件中車間內無其他工藝濕負荷。根據這種條件，在线看片网址假定車間內部沒有任何產濕量，則需要送風露點和車間相同為11.5℃，這時對於新風和回風達到11.5℃露點所需要的冷量為：新風冷負荷：9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;（新風預冷至18℃，95％）回風冷負荷：*1.2*(44-33)/3600=440Kw總計：162+440=602Kw；而在處理空氣露點溫度達到車間露點溫度後，需要進行加熱補償，以保證送風溫度的要求，這時所需要的再熱量為：再熱負荷：*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw總能耗為：冷：602Kw.熱：272Kw.從上述分析和計算可得出，能耗抵消為：272Kw但實際上，車間內部由於人員的工作，維護結構的內外的水蒸汽分壓力差以及車間門的開啟等因素，車間內不可避免的存在濕負荷，這就要求送風露點溫度應略低於車間內部露點溫度，這會導致更大的冷熱能耗抵消。一般的，由於新風的焓值非常高，無法通過新風表冷器直接將新風冷卻到11℃露點溫度。所以經常采用新風和回風混合後，再表冷器處理的方法進行操作。同時，這種空調係統不僅要求在夏季可以同時滿足製冷（控溫和91看片网站视频）和供熱（滿足濕度要求）功能；並要求在某些過渡季節甚至冬季同樣需要開啟製冷機組，目的僅僅是91看片网站视频（對新風進行降溫91看片网站视频）。而後再通過後加熱補償的方式，重新控製室內的溫度要求，浪費了大量的能源更為嚴重的是，在某些情況下，後加熱的配置量往往偏低，特別是後加熱器采用電加熱時，這種情況更為常見。這時的空氣因無法得到足夠高的送風溫度而導致車間內部的相對濕度偏高，這種情況下，要求製冷機組需要將送風露點（溫度）進一步降低，而在送風露點下降時，溫度隨之下降從而導致車間內部的濕度無法得到嚴格保證。對於製冷機組，需要將空氣處理到11℃露點溫度，因此要求冷水溫度一般為5～10℃。但在這種工況下，製冷機組的效率也往往會有所衰減，從而需要配置較大容量的製冷設備，引起初投資的增加。b．看片网站入口B：新風機組（MAHU）+轉輪91看片网站视频機組（Dehumidifier）＋組合式空氣處理機組（AHU），其空氣處理過程如下：新風過濾，經過新風表冷器，一般處理到18℃露點，之後經過轉輪91看片网站视频機進行等焓91看片网站视频（空氣露點為4℃，d=5.2g/kg，T=42℃）；91看片网站视频後的幹熱空氣再和回風混合後（T=23.5℃,d=7.9g/kg），通過後表冷器進行幹工況降溫處理到送風溫度（18.5℃），送風到車間。能耗為：新風表冷冷負荷：9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw91看片网站视频機能耗：125Kw總能耗為：冷：363Kw.熱：125Kw.c．看片网站入口比較：傳統冷凍91看片网站视频+後加熱係統轉輪91看片网站视频機係統新風表冷能耗162Kw162Kw後表冷器能耗440Kw201Kw電加熱能耗272Kw125Kw總能耗(折算為電能)：383.8Kw193Kw由上述分析和計算可得出，使用轉輪91看片网站视频機係統和傳統的冷凍91看片网站视频機+後加熱器方式，能耗節約為45%左右。同時，由於轉輪91看片网站视频機可以將新風進一步除